Beam injection assessment of defects in semiconductors - proceedings of the 5th International workshop (BIADS 98) ... Berlin, Germany, August/September 1998

Författare
Martin Kittler International workshop on beam injection assessment of defects in semiconductors 1998) Berlin :
(Guest eds.: M. Kittler,..)
Genre
Ej skönlitteratur, Konferenspublikation, Konferenser
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
1998 Schweiz 537 sidor.