Beam injection assessment of defects in semiconductors - proceedings of the 5th International workshop (BIADS 98) ... Berlin, Germany, August/September 1998
- Författare
- Martin Kittler International workshop on beam injection assessment of defects in semiconductors 1998) Berlin :
- (Guest eds.: M. Kittler,..)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1998 | Schweiz | 537 sidor. |